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ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 排氣單元 離子濺射儀

ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 排氣單元 離子濺射儀VTS-350M/X
管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、電力系統、壓力測量口等必要機器的小型高真空排氣裝置。
DEPOX系列有不同排氣系統構造的4個類型。
使用簡單、適合用于實驗。
特點

  • 產品型號:VTS-350M/X
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2023-04-11
  • 訪  問  量:1029
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ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 排氣單元 離子濺射儀VTS-350M/X

ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 排氣單元 離子濺射儀VTS-350M/X


管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、電力系統、壓力測量口等必要機器的小型高真空排氣裝置。
DEPOX系列有不同排氣系統構造的4個類型。
使用簡單、適合用于實驗。

特點

  • 可以在不停止主泵的情況下打開真空室。

  • 使用三通閥,組件更少,維修更容易。

  • 真空計等配件可以安裝在同一個架臺上。

  • 空冷型,不需要冷卻水。

  • 帶有輪子,易于移動。

  • 配有調節器,可以確保安裝的安全性。

規格

 型號VPC-053
極限壓力
7.0×10-4Pa
1.5×10-4Pa(使用液氮時)
主泵
油擴散泵(空冷) 50 L/sec
輔助泵
油回轉真空泵 20 L/min
メイン閥門
25A蝶閥
輔助閥門
三通閥
吸氣口
VG-25
重量
20kg
最大尺寸 (W×D×H)
350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)





















管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、電力系統、壓力測量口等必要機器的小型高真空排氣裝置。
DEPOX系列有不同排氣系統構造的4個類型。
使用簡單、適合用于實驗。

特點

  • 可以在不停止主泵的情況下打開真空室。

  • 使用三通閥,組件更少,維修更容易。

  • 真空計等配件可以安裝在同一個架臺上。

  • 空冷型,不需要冷卻水。

  • 帶有輪子,易于移動。

  • 配有調節器,可以確保安裝的安全性。

規格

 型號VPC-053
極限壓力
7.0×10-4Pa
1.5×10-4Pa(使用液氮時)
主泵
油擴散泵(空冷) 50 L/sec
輔助泵
油回轉真空泵 20 L/min
メイン閥門
25A蝶閥
輔助閥門
三通閥
吸氣口
VG-25
重量
20kg
最大尺寸 (W×D×H)
350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)


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