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日本samco紫外線臭氧清洗機

日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1
概述:
該裝置是一種UV臭氧清洗機,可以對各種半導體工藝進行干燥處理。可以進行有機物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發生器和加熱臺,紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現高效的清潔和表面改性,而不會對基材造成電氣損壞。

  • 產品型號:UV-1
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-04
  • 訪  問  量:534
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日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1

概述:

該裝置是一種UV臭氧清洗機,可以對各種半導體工藝進行干燥處理。可以進行有機物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發生器和加熱臺,紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現高效的清潔和表面改性,而不會對基材造成電氣損壞。

特征:

-由于同時使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量,因此可以實現高效清潔。

-離子或電子不會對元件造成損壞。

-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不需要臭氧處理設備。

-由于大氣壓處理,不需要真空系統。

日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1

概述:

該裝置是一種UV臭氧清洗機,可以對各種半導體工藝進行干燥處理。可以進行有機物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發生器和加熱臺,紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現高效的清潔和表面改性,而不會對基材造成電氣損壞。

特征:

-由于同時使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量,因此可以實現高效清潔。

-離子或電子不會對元件造成損壞。

-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不需要臭氧處理設備。

-由于大氣壓處理,不需要真空系統。

日本samco紫外線臭氧清洗機


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