xrf分析儀是掃描型的儀器，當儀器運行時，許多部件在動作，如測角儀、晶體轉換器、準直器等，經常動作的部件容易出現問題，另外控制和探測各個部件動作的電子線路板也可能出現問題。
新型的xrf分析儀都裝有故障診斷軟件，分布于儀器各個部位的傳感器將儀器的狀態信號傳輸到計算機，供儀器操作者和維修工程師判斷儀器是否正常，找到產生故障的部位。但是有些在測量過程中出現的問題靠診斷軟件是發現不了的，而且診斷軟件僅僅提示產生了故障，要找到產生故障的原因，要求維修人員對儀器的結構比較熟悉，且具有一定的維修經驗。下面介紹5種常見故障的產生原因及處理方法。
故障現象一
X射線發生器的高壓開不起來。
故障分析：
這是xrf分析儀較常見的故障，一般發生在開機時，偶爾也發生在儀器運行中。故障的產生原因可以從三個方面去分析：1、X射線防護系統;2、內部水循環冷卻系統;3、高壓發生器及X射線光管。
1.1X射線防護系統
為了防止X射線泄漏，高壓發生器只有在射線防護系統正常的情況下才能啟動。射線防護系統正常與否，主要檢查以下二部分：
1、面板的位置是否正常。xrf分析儀是一個封閉系統，面板是zui外層的射線防護裝置，如果有一塊面板不到位，儀器就有射線泄漏的可能。因此，每塊面板上都有位置接觸傳感器，面板沒有*合上，高壓開不起來。
2、X射線的警示標志是否正常。國家標準[1]規定xrf分析儀必須安裝紅色警告信號燈并與相應的開關聯動，因此如果信號燈失靈，高壓也開不起來。
有一種簡單的方法可以判斷高壓不能啟動是否是由射線防護系統引起，即將儀器的狀態設定為維修狀態，屏蔽射線防護系統，如果這時高壓可以開起來，就可以確定故障是由射線防護系統的問題引起的。
