IR-300系列

氣體濃度監測儀

用于鼓泡供應管線的在線氣體濃度監測器。用于原料氣體的穩定供應。

MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）廣泛應用于LED制造工藝和光學器件制造工藝中。該 MOCVD 設備采用液體/固體材料，通常使用鼓泡方法將其作為汽化氣體輸送到腔室。在該材料氣體供應線路中，實時氣體濃度監測對于實現穩定的薄膜沉積過程非常重要。氣體濃度監測儀IR-300系列已安裝在MOCVD設備的原料氣供應線上，可實現在線高速氣體濃度監測。支持原料氣體的穩定供應。　

非色散紅外吸收法（NDIR法）

非色散紅外吸收法利用紅外光源發出的紅外光被氣體分子吸收的現象。
IR-400 系列將具有待測氣體吸收的樣品輸出與未經吸收的參考輸出進行比較，并將其轉換為氣體濃度。通過采用這種雙光束方法，可以實現長期穩定的測量。HORIBA在化合物半導體、汽車、物理和化學設備以及環境測量設備等廣泛領域中使用這種氣體分析方法有著良好的記錄，并將該技術應用于IR-400系列。

光學系統由光源、氣室和雙光束探測器組成。
雙光束 NDIR 方法是一種穩定的測量方法，擁有 40 多年的經驗。

紅外氣體分析儀的類型

NDIR（非色散紅外吸收法）

非色散紅外線的縮寫
使用濾光片選擇波長進行測量
每個傳感器測量 1-3 個組件
易于配置，適合小型化

FTIR（傅里葉變換紅外光譜）

傅立葉變換紅外的縮寫
使用干涉光譜測量所有波長的光譜
配置復雜，設備龐大。
適用于測量多組分混合氣體