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ulvac-kiko蒸發電源 控制器 溫度調節 離子濺射儀

ulvac-kiko蒸發電源 控制器 溫度調節PSE-150C
將架臺上的油擴散泵，油回轉泵，皮拉尼真空計，閥門配管，電氣系統，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設備的電阻加熱型高速真空蒸發設備。
適用于大型基板的基礎研究開發等實驗用途。

  • 產品型號：PSE-150C
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2023-04-11
  • 訪  問  量：744
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ulvac-kiko蒸發電源 控制器 溫度調節PSE-150C

ulvac-kiko蒸發電源 控制器 溫度調節PSE-150C



將架臺上的油擴散泵，油回轉泵，皮拉尼真空計，閥門配管，電氣系統，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設備的電阻加熱型高速真空蒸發設備。

適用于大型基板的基礎研究開發等實驗用途。


特點

  • 玻璃鐘罩更容易看到內部，有良好的操作性。

  • 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。

  • 通過追加蒸發電源和電極，可同時蒸發或多層蒸發。

  • 更改為EB規格，可成膜高熔點的材料。

  • 蒸發設備帶有腳輪，移動更為容易。

  • 帶有調節器，可確保設置的安全性。

規格

型式VPC-1100
真空性能極限壓力4.0×10-４Pa
1.3×10-４Pa（液體氮氣使用時）
排氣時間4.0×10-３Pa/10min
10-４Pa臺/10min（液體氮氣使用時）
真空槽真空槽玻璃鐘罩（內徑Φ390mm×高350mm)
饋通圈20端口(側面14/底面6)
基板推薦尺寸?最大尺寸□50mm ? □220mm（Max）
電源系統蒸發電極構成3點式
蒸發電源?數量SEREM PSE-150C?1 式
0～10V 150A（Max)
排氣系統主泵油擴散泵（水冷）　1100L/sec
液體氮氣捕集器有
補助泵油回轉泵　200L/min、2臺
油霧捕集器選項
操作系統主閥蝶閥
補助閥三通閥
自動泄露閥選項
操作手動
控制系統皮拉尼真空計GP-1G
電離真空計選項
設置最大尺寸　　本體1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H）
　　　　　　電源設備本體收納








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